全自动晶圆扩膜机产(chǎn)品说明
AWE系列是专门用(yòng)于晶圆、LED等切割后的扩膜工(gōng)序,配备PLC和触摸屏控制系统,可(kě)均匀的扩张晶粒之间的间距。
产(chǎn)品特点:
1.扩膜的高度和速度可(kě)直接在触摸屏上设定;
2.工(gōng)作(zuò)盘具(jù)有(yǒu)加热功能(néng),有(yǒu)助于膜的延伸性;
3.调整工(gōng)作(zuò)盘上升的高度,即可(kě)调整晶粒之间的间距;
4.急停开关;当设备出现紧急情况下,按此按钮;
5.電(diàn)源开关:按下“O”关闭電(diàn)源,按下“-”开启電(diàn)源;
6.复位键;开机后,必须先按复位键,使设备各轴处于原点位置;
7.启动键:全自动模式的启动键,与触摸屏全自动模式下的启动键作(zuò)用(yòng)一样,圆周刀(dāo)自动圆切;
8.温控器:用(yòng)于设定台盘加热温度;
9.触摸显示屏,用(yòng)于操作(zuò)机器的显示屏
10.每小(xiǎo)时产(chǎn)能(néng): 60-90 片
11.精(jīng)度:同心圆±2MM
12.上盖板下翻后自动锁紧